产品特性:定制 | 是否进口:否 | 产地:安徽 |
产品用途:半导体测温 | 加工定制:是 | 型号:TC wafer |
晶圆测温系统 测温点数定制 热电偶晶圆 配套数据软件
在半导体制造的不同阶段,温度管理变得越来越重要。晶圆温度测试和晶圆针测在80年代后期成为主流,现已成为半导体晶圆制造的重要步骤。
目前,晶圆测试是晶圆制造过程中***的一部分。在早期的半导体制造中,每个芯片是在成型、切块、包装后进行测试的。
随着航空航天、汽车电子、军用、光伏、工业自动化等许多领域技术的不断发展,芯片在各种***温度环境下的应用也越来越广泛。在芯片的研发生产中,晶圆高低温测试变得越发重要。
探针台作为晶圆测试的关键设备,其工作原理是利用探针台的探针与被测器件上的PAD点精准对针,将测试机输出激励信号进行互通与信号反馈,最终完成测试数据的获取采集;而在整个测试过程中,工程师们希望能以***的时间获取可靠的测试数据,而这就需要一套专业的测量系统与解决方案来快速精准地完成晶圆测试工作。
精度高、交期短、服务响应快。
· 半导体制造厂 Fab,PVD/CVD 部门、RTP 部门等使用
· 传感器可以定制
· 高精度多通道数据采集仪
· 优异的软件功能,方便数据统计、趋势绘图和数据导出
TC-WAFER晶圆测温系统应用于高低温晶圆探针台,测量精度可达mk级别,可以多区测量晶圆特定位置的温度真实值,也可以精准描绘晶圆整体的温度分布情况,还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化,了解升温、降温以及恒温过程中设备的有效性。
智测电子还提供整个实验室过程的有线温度计量,***温度传感器的长期测量精度。
合肥智测电子致力于高精度温测、温控设备的生产和研发定制,为半导体设备提供可靠的国产解决方案